型号:Taylor Hobson PGI Optics; 生成厂家:英国Taylor Hobson
它是一种接触式轮廓测量仪器,用于测量光学零件宏观轮廓和微观粗糙度。该仪器测量精度高,矢高测量范围14mm,长度(口径)测量范围200mm;主要用于高精度的面形测量和粗糙度检测。对于面形测量,测量精度PV值优于0.1um;对于粗糙度测量,测量精度Ra值可达5nm。
版权所有:陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室地址:陕西省西安市未央区学府中路2号 电话:029-86173345 邮编:710021