2000年由白俄罗斯引进,内装有复合磁控源、扩展弧源、离子束源。具有非平衡磁控溅射和平衡磁控溅射两种工作模式,可溅射生成各种薄膜。同时可采用直流电弧镀工作方式,镀制所需薄膜。
BY-1100A型脉冲真空电弧离子镀膜机,真空度10-4Pa以上,阴极工作电压60-400V,起弧电压300-800V,脉冲频率1-30Hz。
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