型号：G200；生产厂家：Nano Instruments

主要技术指标：

静态纳米压痕测试

最大压痕深度 ≥ 500 mm

压痕位移分辨率 ≤ 0.01 nm

最大载荷 ≥ 500 mN

最小载荷≤ 10mN

载荷分辨率≤ 50 nN

最小接触力≤ 1.0mN

纳米划痕测量模式

载荷力分辨率≤ 50 nN                 X-Y样品定位台

最大划痕力 ≥ 500 mN                 X方向移动范围≥ 200 mm;

最大划擦深度≥ 500mm                 Y方向移动范围≥ 200 mm;

最大划痕长度≥ 100 mm                有效工作面积：≥ 100 mm×100 mm;

最大划痕速度≥ 100 mm/s              定位分辨率： ≤ 0.1 um