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DLC(类金刚石)红外减反膜制备技术研究
2017-03-22 09:24   审核人:

 

    类金刚石薄膜作为新一代的光学材料,具有一系列优异的性能:该薄膜红外区透明、硬度高、耐磨擦、化学性能稳定、耐冲击、热膨胀系数小等。类金刚石薄膜可作为窗口保护膜;红外光学系统的红外增透及保护膜;CD-ROM光盘的高强度保护膜;半导体激光器和高功率集成电路的绝缘散热衬底;扬声器振动膜涂层等。
    实验室开发的脉冲电弧离子镀类金刚石膜制备技术,是一种物理汽相沉积方法,膜层中不含氢元素。该镀制方法简单,不需要给基片加负偏压,也不需要在镀制过程中给真空室中充任何气体,镀制工艺重复性好,适合于大批量工业生产应用。采用该方法镀制的类金刚石薄膜,光学透明性好,化学性能稳定,耐磨性好,能耐受恶劣环境。实验室制备的DLC红外减反膜,在f150范围内不均匀度小于5%,在3-5μm和8-12μm波段平均透过率超过94%,峰值透过率达到97%,可作为优良的红外增透膜和保护膜,已成功应用于红外窗口表面。

实验室制备的红外窗口样品

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